Ultrahigh vacuum-compatible fabrication and electrical characterization systems for environmentally sensitive metal oxide semiconductor capacitors.

Billman, C A; Walker, F J

Billman, C A; Walker, F J.

Afiliación

Billman CA; AMI Semiconductor, Pocatello, ID 83201, USA. curtis_billman@amis.com

Rev Sci Instrum ; 78(6): 065113, 2007 Jun.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-17614644

Asunto(s)

Capacidad Eléctrica; Electroquímica/instrumentación; Electrónica/instrumentación; Semiconductores; Transductores; Vacio; Electroquímica/métodos; Diseño de Equipo; Análisis de Falla de Equipo; Reproducibilidad de los Resultados; Sensibilidad y Especificidad

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Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Asunto principal: Semiconductores / Transductores / Vacio / Capacidad Eléctrica / Electroquímica / Electrónica Tipo de estudio: Diagnostic_studies Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2007 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos

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