Large Stroke Vertical PZT Microactuator With High-Speed Rotational Scanning.
J Microelectromech Syst
; 23(2): 256-258, 2014 Apr.
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| ID: mdl-25506187
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
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MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
J Microelectromech Syst
Año:
2014
Tipo del documento:
Article