Differentially piezoresistive transduction of high-Q encapsulated SOI-MEMS resonators with sub-100 nm gaps.
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control
; 62(1): 220-9, 2015 Jan.
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| ID: mdl-25585404
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Banco de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control
Asunto de la revista:
MEDICINA NUCLEAR
Año:
2015
Tipo del documento:
Article