Observation and understanding of anisotropic strain relaxation in selectively grown SiGe fin structures. | Nanotechnology;28(14): 145703, 2017 Apr 07. | MEDLINE

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Centro Latinoamericano de Perinatología, Salud de la Mujer y Reproductiva

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Observation and understanding of anisotropic strain relaxation in selectively grown SiGe fin structures.

Schulze, A; Loo, R; Ryan, P; Wormington, M; Favia, P; Witters, L; Collaert, N; Bender, H; Vandervorst, W; Caymax, M.

Afiliación

Schulze A; imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium.

Nanotechnology ; 28(14): 145703, 2017 Apr 07.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-28186001

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2017 Tipo del documento: Article País de afiliación: Bélgica

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