Area-Selective Atomic Layer Deposition of In2O3:H Using a µ-Plasma Printer for Local Area Activation.
Chem Mater
; 29(3): 921-925, 2017 Feb 14.
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| ID: mdl-28405058
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
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MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Chem Mater
Año:
2017
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Países Bajos