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Direct writing of silicon nanostructures using liquid-phase electron beam induced deposition of hydrosilanes.
Masuda, Takashi; Mori, Masahiro.
Afiliación
  • Masuda T; School of Material Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, Ishikawa 923-1292, Japan.
  • Mori M; Cucullus Inc., 1-18, Chuo-dori, Kanazawa, Ishikawa, 920-0866, Japan.
Nanotechnology ; 32(19): 195301, 2021 May 07.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-33508819
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2021 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón
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