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Transmission electron microscopy investigation of the formation of C54-TiSi(2) phase on stressed (001)Si.
Cheng, S L; Chang, S M; Huang, H Y; Chen, L J; Tsai, C J.
Afiliação
  • Cheng SL; Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 300, Taiwan, ROC.
Micron ; 33(6): 543-7, 2002.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-12020699
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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Micron Assunto da revista: DIAGNOSTICO POR IMAGEM Ano de publicação: 2002 Tipo de documento: Article País de publicação: Reino Unido
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