Grating-enhanced through-wafer optical microprobe for microelectromechanical system high-resolution optical position feedback.

Dawson, J M; Wang, L; Famouri, P; Hornak, L A

Dawson, J M; Wang, L; Famouri, P; Hornak, L A.

Afiliação

Dawson JM; Microelectronic Systems Research Center and Electromechanical Systems Research Laboratory, Lane Department of Computer Science and Electrical Engineering, West Virginia University, Morgantown, West Virginia 26506-6109, USA. dawson@csee.wvu.edu

Opt Lett ; 28(14): 1263-5, 2003 Jul 15.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-12885041

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Opt Lett Ano de publicação: 2003 Tipo de documento: Article País de afiliação: Estados Unidos

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