Transparent thin-film characterization by using differential optical sectioning interference microscopy.

Wang, Chun-Chieh; Lin, Jiunn-Yuan; Jian, Hung-Jhang; Lee, Chau-Hwang

Wang, Chun-Chieh; Lin, Jiunn-Yuan; Jian, Hung-Jhang; Lee, Chau-Hwang.

Afiliação

Wang CC; Graduate Institute of Physics, National Chung Cheng University, Chia-Yi, Taiwan.

Appl Opt ; 46(30): 7460-3, 2007 Oct 20.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-17952182

Assuntos

Microscopia de Interferência/métodos; Óptica e Fotônica; Calibragem; Desenho de Equipamento; Índio/química; Interferometria/métodos; Microscopia/métodos; Microscopia de Força Atômica; Microscopia Confocal; Modelos Estatísticos; Refratometria; Análise de Regressão; Silício/química; Compostos de Estanho/química

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Óptica e Fotônica / Microscopia de Interferência Tipo de estudo: Diagnostic_studies Idioma: En Revista: Appl Opt Ano de publicação: 2007 Tipo de documento: Article País de afiliação: Taiwan País de publicação: Estados Unidos

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