Monte Carlo simulation of scanning electron microscope image of sidewall shape for linewidth measurement.

Xiao, S M; Zhang, Z M; Li, H M; Ding, Z J

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Monte Carlo simulation of scanning electron microscope image of sidewall shape for linewidth measurement.

Xiao, S M; Zhang, Z M; Li, H M; Ding, Z J.

Afiliação

Xiao SM; Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, China.

J Nanosci Nanotechnol ; 9(2): 1655-8, 2009 Feb.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-19441593

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: J Nanosci Nanotechnol Ano de publicação: 2009 Tipo de documento: Article País de afiliação: China País de publicação: Estados Unidos

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