Does your SEM really tell the truth?--How would you know? Part 1. | Scanning;35(6): 355-61, 2013. | MEDLINE

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Does your SEM really tell the truth?--How would you know? Part 1.

Postek, Michael T; Vladár, András E.

Afiliação

Postek MT; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland.

Scanning ; 35(6): 355-61, 2013.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23427011

Palavras-chave

Monte Carlo; SEM; calibration; measurements; metrology; modeling; scanning electron microscope; standards

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Qualitative_research Idioma: En Revista: Scanning Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article País de publicação: Reino Unido

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