Your browser doesn't support javascript.
loading
Structural investigation of Cr(Al)N/SiOx films prepared on Si substrates by differential pumping cosputtering.
Kawasaki, Masahiro; Takabatake, Hiroshi; Onishi, Ichiro; Nose, Masateru; Shiojiri, Makoto.
Afiliação
  • Kawasaki M; JEOL USA Inc., 11 Dearborn Road, Peabody, Massachusetts 01960, United States. kawasaki@jeol.com
ACS Appl Mater Interfaces ; 5(9): 3833-8, 2013 May.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23582015

Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: ACS Appl Mater Interfaces Assunto da revista: BIOTECNOLOGIA / ENGENHARIA BIOMEDICA Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article País de afiliação: Estados Unidos País de publicação: Estados Unidos

Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: ACS Appl Mater Interfaces Assunto da revista: BIOTECNOLOGIA / ENGENHARIA BIOMEDICA Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article País de afiliação: Estados Unidos País de publicação: Estados Unidos