Structural investigation of Cr(Al)N/SiOx films prepared on Si substrates by differential pumping cosputtering.
ACS Appl Mater Interfaces
; 5(9): 3833-8, 2013 May.
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1
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01-internacional
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Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Assunto da revista:
BIOTECNOLOGIA
/
ENGENHARIA BIOMEDICA
Ano de publicação:
2013
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Article
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Estados Unidos
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Estados Unidos