Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate. | Nanoscale Res Lett;10(1): 958, 2015 Dec. | MEDLINE

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Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate.

Xu, Weijia; Yin, Huaxiang; Ma, Xiaolong; Hong, Peizhen; Xu, Miao; Meng, Lingkuan.

Afiliação

Xu W; Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100029, China, xuweijia@ime.ac.cn.

Nanoscale Res Lett ; 10(1): 958, 2015 Dec.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-26055484

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanoscale Res Lett Ano de publicação: 2015 Tipo de documento: Article País de publicação: Estados Unidos

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