A straightforward and CMOS-compatible nanofabrication technique of periodic SiO2 nanohole arrays. | Nanotechnology;26(41): 415303, 2015 Oct 16. | MEDLINE

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A straightforward and CMOS-compatible nanofabrication technique of periodic SiO2 nanohole arrays.

Meng, Lingkuan; He, Xiaobin; Gao, Jianfeng; Li, Junjie; Wei, Yayi; Yan, Jiang.

Afiliação

Meng L; Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, People's Republic of China.

Nanotechnology ; 26(41): 415303, 2015 Oct 16.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-26392178

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Clinical_trials Idioma: En Revista: Nanotechnology Ano de publicação: 2015 Tipo de documento: Article País de publicação: Reino Unido

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