Etching and Chemical Control of the Silicon Nitride Surface.
ACS Appl Mater Interfaces
; 9(3): 3075-3084, 2017 Jan 25.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-27977928
Texto completo:
1
Coleções:
01-internacional
Base de dados:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Assunto da revista:
BIOTECNOLOGIA
/
ENGENHARIA BIOMEDICA
Ano de publicação:
2017
Tipo de documento:
Article
País de afiliação:
França
País de publicação:
Estados Unidos