Laser heterodyne interferometric system with following interference units for large X-Y-θ planar motion measurement.
Opt Express
; 25(12): 13684-13690, 2017 Jun 12.
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Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Assunto da revista:
OFTALMOLOGIA
Ano de publicação:
2017
Tipo de documento:
Article
País de publicação:
Estados Unidos