Reflective EUVL tool design with generalized Gaussian constant mathematics.
Appl Opt
; 57(20): 5884-5892, 2018 Jul 10.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-30118061
Texto completo:
1
Coleções:
01-internacional
Base de dados:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Ano de publicação:
2018
Tipo de documento:
Article
País de publicação:
Estados Unidos