Low Thermal Budget Heteroepitaxial Gallium Oxide Thin Films Enabled by Atomic Layer Deposition.
ACS Appl Mater Interfaces
; 12(39): 44225-44237, 2020 Sep 30.
Article
em En
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| ID: mdl-32865966
Texto completo:
1
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01-internacional
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MEDLINE
Tipo de estudo:
Health_economic_evaluation
Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Assunto da revista:
BIOTECNOLOGIA
/
ENGENHARIA BIOMEDICA
Ano de publicação:
2020
Tipo de documento:
Article