Towards an ideal high-κ HfO2-ZrO2-based dielectric.
Nanoscale
; 13(32): 13631-13640, 2021 Aug 28.
Article
em En
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| ID: mdl-34477638
Texto completo:
1
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01-internacional
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MEDLINE
Tipo de estudo:
Prognostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Nanoscale
Ano de publicação:
2021
Tipo de documento:
Article
País de publicação:
Reino Unido