Accurate mechanical-optical theoretical model of cross-axis sensitivity of an interferometric micro-optomechanical accelerometer.
Appl Opt
; 61(11): 3201-3208, 2022 Apr 10.
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em En
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Tipo de estudo:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Ano de publicação:
2022
Tipo de documento:
Article