Towards High-Temperature MEMS: Two-Step Annealing Suppressed Recrystallization in Thin Multilayer Pt-Rh/Zr Films.
Micromachines (Basel)
; 14(11)2023 Oct 28.
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Idioma:
En
Revista:
Micromachines (Basel)
Ano de publicação:
2023
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